반도체용 먼지 제어

웨이퍼 트레이 먼지 제거

웨이퍼 트레이는 웨이퍼 핸들링 장비에서 전달되는 웨이퍼 박스를 받는 역할을 담당하는 프런트엔드 모듈에 장착되는 기계 장치이다. 일반적으로 반도체 장비와 생산 라인 간의 대화형 포트로 로드 포트와 함께 사용됩니다.

생산 작업장에서는 FOUP가 로드 포트에 배치됩니다. 높은 공기 품질 요구 사항(ISO 레벨 5)으로 인해 클린룸과 프로세스 시스템을 정기적으로 청소해야 합니다. 목적은 실리콘 웨이퍼의 교차 오염을 방지하고 궁극적으로 칩의 결함을 제거하는 것입니다.

솔루션

다양한 웨이퍼의 제조 공정은 매우 정교하고 복잡하기 때문에 각 공정의 먼지 제거 수준은 매우 높습니다. 먼지 제거 장치는 비접촉식, 빠른 청소, 신속한 이물질 제거 및 설치 용이성의 특성을 가져야 합니다.